[发明专利]缺陷修复装置

摘要

本发明涉及一种可以减轻操作者的负荷、并可高效地修复缺陷的缺陷修复装置。在进行缺陷修复之前，载物台(2)根据主控制部(65)的指示，使基板(1)进行二维移动而移动到使缺陷进入物镜(14)的视野区域的位置。照相机(5)生成基于射入光的图像信号，输出给控制装置(6)。图像处理部(62)根据回顾检查图像信号生成缩略图像数据，输出给主控制部(65)。主控制部(65)将回顾检查图像的缩略图像数据与缺陷数据关联起来存储在存储部(66)中。在输出了修复开始指示时，主控制部(65)从存储部(66)读出所有回顾检查对象缺陷的缩略图像数据，输出给显示器(7)。显示器(7)根据所输入的缩略图像数据，将各个缺陷的回顾检查图像显示为缩小的缩略图像。向由确认了回顾检查图像的显示的操作者所选择的缺陷照射激光。

主权项

1.一种修复基板上的缺陷的缺陷修复装置，其特征在于，该缺陷修复装置具有：摄像部，其根据在修复工序前面的检查工序中检查出的所述基板的检查数据的缺陷位置信息，拍摄作为回顾检查对象的缺陷；显示部，其将通过所述摄像部所拍摄的各缺陷回顾检查图像缩小并一览显示；缺陷选择部，其从通过所述显示部一览显示的所述回顾检查图像中选择要修复的缺陷；缺陷修复部，其修复通过所述缺陷选择部选择的所述缺陷；以及控制部，其控制所述摄像部、所述显示部和所述缺陷修复部。