[发明专利]成膜装置及成膜方法

摘要

本发明的成膜装置是一种使液体原料汽化，使其堆积于基板上而成膜的成膜装置，其特征在于，具有：在内部保持基板(W)的成膜室(2)以及多个喷射阀(3)，该喷射阀配置在所述成膜室(2)的不同位置，将同一液体原料直接喷射到所述成膜室(2)内，通过使其减压沸腾而将所述液体原料汽化供给。采用本发明，能够实现成膜室的小型化，进而实现成膜装置的小型化，使成膜的膜厚分布良好，汽化量多而提高成膜的生产效率。

主权项

1.一种成膜装置，使液体原料汽化后堆积在基板上而成膜，其特征在于，具有：在内部保持基板的成膜室，以及多个喷射阀，所述多个喷射阀配置在所述成膜室的不同位置，将同一液体原料直接喷射到所述成膜室内，通过使其减压沸腾，而将所述液体原料汽化供给。