[发明专利]自动光学检测装置有效
| 申请号： | 200710127405.1 | 申请日： | 2007-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN101339146A | 公开（公告）日： | 2009-01-07 |
| 发明（设计）人： | 韩信辉 | 申请（专利权）人： | 京元电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/958;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种自动光学检测装置，应用于检测集成电路的表面缺陷，该自动光学检测装置包含：一匣盘传送装置，用以传送承载至少一集成电路的匣盘，该匣盘具有至少一夹持部；一压持机构，用以夹持该夹持部，使该匣盘固定于该匣盘传送装置；以及一影像撷取装置，用以撷取该集成电路表面的一影像，其中通过分析该影像，可检测该集成电路的表面缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 光学 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种自动光学检测装置，应用于检测集成电路的表面缺陷，其特征在于，该自动光学检测装置包含：一匣盘传送装置，用以传送承载至少一集成电路的匣盘，该匣盘具有至少一夹持部；一压持机构，用以夹持该夹持部，使该匣盘固定于该匣盘传送装置；以及一影像撷取装置，用以撷取该集成电路表面的一影像，其中通过分析该影像，可检测该集成电路的表面缺陷。
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