[发明专利]涂布方法

摘要

一种涂布方法，一边使涂布液(2)从设在涂布用涂布头(10)的前端面上的狭缝状排出口(11)供给到被涂布体(1)一边使涂布用涂布头移动，将涂布液涂布在被涂布体的表面上，此时使从涂布用涂布头的排出口排出的涂布液保持在涂布用涂布头的前端面上，在待机至如此保持的涂布液均匀后，使涂布用涂布头下降而使保持的涂布液与被涂布体的表面接触，然后，一边将规定量的涂布液从排出口排出一边使涂布用涂布头上升到被涂布体隔有所需间隔(D)的涂布开始位置。采用本发明，在一边使涂布液从狭缝状排出口排出一边使涂布用涂布头移动而将涂布液涂布在被涂布体的表面上时，可防止发生沿移动方向的条纹不均情况，并可抑制涂布开始位置的涂布液的膜厚变厚的情况。

主权项

1.一种涂布方法，一边将涂布液从设在涂布用涂布头的喷嘴部前端面上的狭缝状排出口供给到被涂布体的表面，一边使该涂布用涂布头相对于被涂布体相对移动，将涂布液涂布在被涂布体的表面上，其特征在于，具有如下工序：从所述涂布用涂布头的排出口将涂布液排出并将涂布液保持在涂布用涂布头的前端面上的工序；待机至如此保持在涂布用涂布头的前端面上的涂布液变得均匀的工序；使所述涂布用涂布头下降而使保持在涂布用涂布头的前端面上的涂布液与被涂布体的表面接触的工序；一边使规定量的涂布液从所述排出口排出一边使涂布用涂布头上升至离被涂布体隔有所需间隔的涂布开始位置的工序。