[发明专利]浸润式微影方法、浸润式微影系统及其封闭板的对准方法有效
| 申请号： | 200710129408.9 | 申请日： | 2007-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN101231479A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 傅中其;章鑫 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种浸润式微影方法、浸润式微影系统及其封闭板的对准方法。该浸润式微影系统的封闭板的对准方法，其中该浸润式微影系统包括具有一封闭板的一基材承载装置，该浸润式微影系统的封闭板的对准方法至少包括：提供一平板承载装置给该封闭板；提供一光侦测器至该平板承载装置的下方；以及进行一侦测步骤，以使用该光侦测器来侦测穿过该封闭板的一辐射线是否对准该平板承载装置，使该封闭板通过该侦测步骤而被对准。本发明还公开了一种浸润式微影方法及浸润式微影系统。本发明改善习知使用传送影像感测器来校正流体封闭板位置的缺点，借以避免与晶圆承载装置或其他材料的碰撞到，并改善浸润式微影的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 浸润 式微 方法 系统 及其 封闭 对准 | ||
【主权项】：
1.一种浸润式微影系统的封闭板的对准方法，其中该浸润式微影系统包括具有一封闭板的一基材承载装置，其特征在于该浸润式微影系统的封闭板的对准方法至少包括：提供一平板承载装置给该封闭板；提供一光侦测器至该平板承载装置的下方；以及进行一侦测步骤，以使用该光侦测器来侦测穿过该封闭板的一辐射线是否对准该平板承载装置，使该封闭板通过该侦测步骤而被对准。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司，未经台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710129408.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：打印系统及其控制方法
- 下一篇：双层层叠物及使用它的构图方法
