[发明专利]化学气相沉积的设备

摘要

该技术为热处理行业处理设备领域。该设备由反应器、加热系统、原料气供给及进气系统、抽真空系统四个主要部分组成。目前普通化学气相沉积是靠热能激活的化学反应，其主要缺点：反应温度高，限制了化学气相沉积的应用。为了降低反应温度降低，化学气相沉积有了新的进展。通过气态物质在工件表面的化学反应，获得沉积物粒子并成膜；可在常压或低于标准大气压下进行。采用等离子和激光辅助技术可以显著强化化学反应，使其在较低的温度下进行沉积；为使沉积层达到所要求的性能，对气相反应必须精确控制。

主权项

1.设备较简单，适于大批量生产，灵活性强；膜层的化学成分容易控制，膜层纯度高、致密性好，可以获得梯度腹层或混合腹层；沉积温度高，通常在850～1100℃进行，膜层与基体的结合强度高。