[发明专利]一种离子束导管无效
| 申请号： | 200710136246.1 | 申请日： | 2007-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN101140847A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | R·D·戈德堡 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于离子注入机中的离子束，其位于注入机中与半导体晶片相邻近的位置。这种导管用来约束在注入过程中晶片中和所使用的带电粒子。根据本发明，一种导管包括一个轴，沿着所述轴接收离子束的开口端，与所述轴基本平行的导管壁，和穿过所述导管壁的至少一个开口，所述导管壁从所述导管内到外形成气体流通通道，所述通道具有与所述导管轴成锐角排列的长度，及横向于所述长度的最小尺寸，以便垂直于所述导管轴的通过通道的视线被充分阻挡。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 导管 | ||
【主权项】：
1.一种用于离子注入机中的离子束的导管，其位于注入机中与被注入的晶片相邻近接的位置，以便在注入过程中约束晶片中和所使用的带电粒子，所述导管具有一个轴，沿着所述轴接收离子束的开口端，与所述轴基本平行的导管壁，和穿过所述导管壁的至少一个开口，所述导管壁从所述导管内到外形成气体流通通道，所述通道具有与所述导管轴成锐角排列的长度，及横向于所述长度的最小尺寸，以便垂直于所述导管轴的通过通道的视线被充分阻挡。
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