[发明专利]固体摄像元件

摘要

在横型溢出沟槽结构的CCD固体摄像元件中应用AGP驱动时，产生电荷从溢出沟槽区域(14)漏出到第二沟道区域(8)而使信息电荷叠加有噪声的问题。因而，本发明具有：以相互平行方式设置的多个第一沟道区域(4)；在相邻的第一沟道区域(4)之间所设置的溢出沟槽区域(14)；在第一沟道区域(4)和溢出沟槽区域(14)之间所设置的多个分离区域(12)；和在多个第一沟道区域上、在与第一沟道区域(4)交叉的方向以相互平行方式所设置的多个第一传送电极(10)，设置有位于第一沟道区域(4)和规定的第一传送电极(10)交叉的区域附近且比第一沟道区域(4)浓度高的第二沟道区域(8)，与第二沟道区域(8)相邻的溢出沟槽区域(14)具有朝向第二沟道区域(8)的突出部(18)。

主权项

1.一种固体摄像元件，具有：在第一导电型的半导体基板的主面以相互平行方式设置的第二导电型的多个第一沟道区域；在相邻的上述第一沟道区域之间所设置的第二导电型的溢出沟槽区域；在上述第一沟道区域和上述溢出沟槽区域之间所设置的第一导电型的多个分离区域；和在上述多个第一沟道区域上形成且在与上述多个第一沟道区域相交叉的方向以相互平行的方式所设置的多个第一传送电极，该固体摄像元件，设置有第二导电型的第二沟道区域，其位于上述第一沟道区域和规定的上述第一传送电极相交叉的区域附近，并且在上述半导体基板的主面浓度比上述第一沟道区域高，与上述第二沟道区域相邻的上述溢出沟槽区域具有朝向上述第二沟道区域的突出部。