[发明专利]半导体装置及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200710136906.6 申请日: 2007-07-23
公开(公告)号: CN101114671A 公开(公告)日: 2008-01-30
发明(设计)人: 三田惠司;玉田靖宏;大家健太郎 申请(专利权)人: 三洋电机株式会社;三洋半导体株式会社;三洋半导体制造株式会社
主分类号: H01L29/73 分类号: H01L29/73;H01L21/331;H01L21/24
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种半导体装置及其制造方法。现有的半导体装置例如横型PNP晶体管中,其存在的问题是在维持耐压特性的同时,不增大器件尺寸就难以得到期望的电流放大率。而在本发明的半导体装置中,其在P型单晶硅衬底(3)上形成有N型外延层(4)。在横型PNP晶体管(1)中,外延层(4)作为基极区域使用。而且,在衬底(3)以及外延层(4)上扩散有钼(Mo)。利用该构造能够调整基极电流值、实现横型PNP晶体管(1)的期望的电流放大率(hFE)。
搜索关键词: 半导体 装置 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种半导体装置,具有:半导体层、形成于所述半导体层上的发射极区域、基极区域以及集电极区域,其特征在于,在作为所述基极区域使用的所述半导体层上扩散有钼(Mo)。
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