[发明专利]基板的处理装置

摘要

本发明提供一种处理装置，能够将不含气泡的处理液供给到基板上。本发明处理装置，利用由处理液供给装置供给的处理液来处理被搬运的基板的上表面，其特征在于，处理液供给装置(31)具备：主贮液部(32)，连接了供给处理液的给液管(33)；流出孔(36)，设置在主贮液部的下端，使由给液管供给到主贮液部并贮存的处理液流出；辅助贮液部(38)，贮留从流出孔流出的处理液；狭缝(44)，设置在辅助贮液部上，将从流出孔流出到辅助贮液部的处理液供给到基板的上表面；第1空气抽取管(45)，连通到大气地设置在辅助贮液部，使从流出孔与处理液一起流出的气泡释放到大气。

主权项

1.一种基板的处理装置，利用由处理液供给构件供给的处理液来处理被搬运的基板的上表面，其特征在于，上述处理液供给构件具备：主贮液部，连接了供给上述处理液的给液管；第1流出部，设置在该主贮液部的下端，使由上述给液管供给到主贮液部并贮存的处理液流出；辅助贮液部，贮留从该第1流出部流出的处理液；第2流出部，设置在该辅助贮液部，将从上述第1流出部流出到上述辅助贮液部的处理液供给到上述基板的上表面；以及第1释放部，与大气连通设置在上述辅助贮液部，使从上述第1流出部与处理液一起流出的气泡释放到大气。