[发明专利]特别是双层折叠磁控管的多磁控管的联动扫描有效
| 申请号： | 200710137630.3 | 申请日： | 2007-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101117706A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 马裤托·艾娜加沃;西门·明·胡·李;阿基海伦·豪索卡沃;布拉德利·O·斯廷森;约翰·M·怀特 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01L21/203;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁控管组件，其包括一个或多个磁控管(112)，每个磁控管在靶(124)的溅射表面上形成封闭的等离子体回路。该靶可包括多个条形靶，在该条形靶上，每个条形磁控管滚动(126)并通过弹簧机构(114)部分支撑在公共支撑板(32)上。该条形磁控管可以为双层折叠磁控管(200)，其中各磁控管形成折叠的等离子体回路，该回路在条形靶的水平侧之间延伸并且其端部在靶的中间会合(220)。形成磁控管的磁体可排列为具有通常均匀的直部分的图案，其中直部分通过弧形部分连接，在该弧形部分中在邻近拐角处有额外的磁体位置可用以调整等离子体轨迹。 | ||
| 搜索关键词： | 特别是 双层 折叠 磁控管 多磁控管 联动 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种双层折叠螺旋磁控管，包括一种极性的外磁极，该外磁极围绕另一极性的内磁极，并且通过沿封闭路径延伸的间隙将该外磁极和内磁极隔开，所述路径包括从顶部到其尾部沿着折叠的图案延伸的两个基本平行的部分，所述折叠图案包括从顶部到第一180°角延伸的第一直部分，从所述第一180°角到第二180°角延伸的第二直部分，以及从所述第二180°角到尾部延伸的第三直部分，所述第一和第三直部分平行并沿着所述第二直部分延伸。
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