[发明专利]用于在容器内表面上沉积涂层的装置

摘要

在容器(10)的内表面沉积涂层的装置，在这类装置中，沉积是通过低压等离子体进行的，等离子体是由微波类电磁波激发前体气体在容器(10)中产生。本发明设置了一种注射管(13)，该注射管被浸入到该容器(10)中，浸入长度为在容器(10)的顶部(18)和底部(17)之间计算的容器(10)总高度的四分之一到二分之一之间，所述注射管(13)的长度构成纵向天线(16)，其能够接收由所述发生器(3)产生的超高频电磁波并能够传播HT点火信号，一种盘(21、23、25)形式的超高频短路(19)以这样一种方式被设置在注射管(13)上，使得在腔体一侧的所述盘(21、23、25)的表面限定了沿所述注射管(13)传播的电磁波的零振幅点，短路(19)和注射管(13)的自由端(13a)之间的长度相应于在注射管(13)的自由端(13a)处四分之一波长的一奇数值以获得最大振幅，也就是一种波腹。

主权项

1.一种用来在由热塑性塑料制作的容器(10)的内表面沉积涂层的装置，在该装置中沉积是通过低压等离子体来进行的，等离子体是通过由超高频微波类电磁波激发前体气体而在容器(10)内产生的，在该装置中，容器(10)被置于由导电材料制作的腔体中，微波被引入到该腔体中，所述装置包括：一种超高频电磁波发生器(3)；一种电磁波导(4)，用来将所述电磁波发生器(3)连接到腔体(2)的侧壁上的窗口(5)上，使得在所述腔体(2)中产生至少一个中心场；用来注射前体气体的设备，包括部分地延伸进入到所述容器(10)中的注射管(13)；用来抽吸腔体(2)和容器(10)的内部容积的设备；以及内部壳体(6)，与腔体(2)同轴并基本上透过所述电磁波，该壳体是例如由石英制作而且限定了一个腔室(7)，在激发前体气体期间容器(10)被置于该腔室中，其中，注射管(13)浸入容器(10)中，浸入长度为容器(10)的顶部(18)和底部(17)之间计算的容器(10)的总高度的四分之一和二分之一之间，注射管(13)的所述长度构成能够接收到由所述发生器(3)产生的所述超高频电磁波的纵向天线(16)，其中，以盘(21、23、25)形式的超高频短路(19)以这样一种方式被设置在注射管(13)上，使得面向腔体的一侧上的所述盘(21、23、25)的表面限定了沿所述注射管(13)传播的电磁波的零振幅点，在所述短路(19)和所述注射管(13)的自由端(13a)之间的长度相应于四分之一波长的一奇数值以便在注射管(13)的自由端(13a)处获得最大振幅，也就是波腹。