[发明专利]狭口阀有效
| 申请号： | 200710138057.8 | 申请日： | 2007-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN101314867A | 公开（公告）日： | 2008-12-03 |
| 发明（设计）人： | 托恩·Q·特兰;迪米特里·卢伯米尔斯基;崔伦;帮·王 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B35/00;B01J3/02;B01J3/03 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在此提供一种用于工艺腔室具有改进的密封性能的阀组件的实施方式。在一些实施方式中，用于工艺腔室的阀组件包括：外壳，具有设置在其壁中的开口并且通过该开口可传送衬底；门，在基本平行于外壳的壁的平面中可移动地耦接到外壳，用于选择性地密封开口；可压缩密封构件，至少部分设置在门的上表面上和外壳的相应表面之间，用于当门位于关闭位置时在基本垂直于壁的方向上通过可压缩密封构件的压缩而在二者之间形成密封；以及机械装置，用于限制可压缩密封构件对在外壳的工艺腔室侧的环境的暴露。 | ||
| 搜索关键词： | 狭口阀 | ||
【主权项】：
1、一种工艺腔室的阀组件，包括：外壳，其具有设置在其壁中的开口以及通过该开口可传送衬底；门，在基本平行于所述外壳的所述壁的平面中可移动耦接到所述外壳，用于选择性地密封所述开口；可压缩密封构件，至少部分设置在所述门的上表面和所述外壳的相应表面之间，用于当所述门位于关闭位置时在基本垂直于所述壁的方向上通过所述可压缩密封构件的压缩而在二者之间形成密封；以及机械装置，用于限制所述可压缩密封构件对在所述外壳的工艺腔室侧的环境的暴露。
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