[发明专利]用于传送样品的传送机构有效
| 申请号： | 200710138124.6 | 申请日： | 2007-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN101114564A | 公开（公告）日： | 2008-01-30 |
| 发明（设计）人： | E·P·范加斯比克;P·多纳;P·J·L·巴伦德斯;I·J·B·范希斯;G·J·范德沃特;J·A·M·范登奥特拉尔 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/244;G01N1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏;黄力行 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于将样品(1)从在第一保持件(40)内的第一位置传送到在第二保持件(10)内的第二位置和/或反之亦然的传送机构，每个保持件(10、40)装备成可脱离地保持样品(1)，样品在保持件之间的传送在不同于第二位置的传送位置中进行，其特征在于，在样品在保持件(10、40)之间传送时，机械引导机构以高于第二位置的共同精度的共同精度定位保持件(10、40)，并且在样品在第二位置上时，所述机械引导机构不定位至少一个保持件。机械引导机械可包括额外部件(50)。至少一个保持件(40)可以装备成保持多个样品。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 传送 样品 机构 | ||
【主权项】：
1.一种用于将样品(1)从在第一保持件(10)内的第一位置传送到在第二保持件(20)内的第二位置和/或反之亦然的传送机构，每个保持件(10、20)装备成可脱离地保持样品(1)，样品(1)在保持件(10、20)之间的传送在不同于第二位置的传送位置中进行，其特征在于，在样品(1)在保持件(10、20)之间传送时，机械引导机构以高于第二位置的共同精度的共同精度定位保持件(10、20)，并且在样品在第二位置上时，所述机械引导机构不定位至少一个保持件。
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