[发明专利]洁净储料机和物品的保管方法

摘要

在洁净储料机(2)内的上部设置标线片用旋转架(4)、在下部设置晶圆盒用旋转架(6)，并向下供给洁净气体。使晶圆盒运送装置(8)和标线片运送装置(10)在储料机(2)内升降，并通过晶圆盒运送装置(8)连接装载口(18～21)、晶圆盒开闭器(12)以及晶圆盒用旋转架(6)。通过标线片运送装置(10)连接晶圆盒开闭器(12)和标线片用旋转架(4)之间。可紧凑地保管多个标线片和晶圆盒，特别是可将标线片洁净地保管。

主权项

1.一种洁净储料机，将物品收纳在容器中并从出入库口进行出入库，并且在洁净储料机内可使洁净气体向下吹气，其特征在于，设置用于将物品对于容器进行取出装入的开闭装置，将从容器取出的物品的保管架设置在上侧、容器的保管架设置在下侧、并上下配置为在俯视时重叠，还设置有：用于在上述开闭装置和出入库口及容器的保管架之间运送容器的容器运送装置；以及用于在上述开闭装置和物品的保管架之间运送物品的物品运送装置。