[发明专利]用于制造平板显示器的设备有效
| 申请号： | 200710138451.1 | 申请日： | 2005-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN101101863A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 李荣钟;崔浚泳;曹生贤;尹炳五;金敬勋;郑洪基 | 申请（专利权）人： | 爱德牌工程有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/67;G02F1/1333;H01J9/00;G09F9/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡洪贵 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种平板显示器(FPD)制造设备，其构造能容易地处理大尺寸基板同时实现容易的制造、运输、运转和修理过程。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 平板 显示器 设备 | ||
【主权项】：
1.一种平板显示器制造设备，其包括装载锁定室、馈送室和处理室，用于制造平板显示器，其中装载锁定室包括：一真空室壳，在其中可建立真空；一开口，其通过真空室壳的外围壁而形成以允许基板通过开口用于将基板装载到真空室壳中和从真空室壳卸载基板；一门阀，其适合于打开/关闭开口；以及末端执行器容纳凹槽，其在真空室壳的底壁处形成以分别容纳安装在装载锁定室外部的基板馈送自动机的末端执行器，每个末端执行器容纳凹槽都具有预定深度以允许一个相关的末端执行器在末端执行器容纳凹槽中竖直移动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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