[发明专利]用于检查膜缺陷的设备和方法有效
| 申请号： | 200710138887.0 | 申请日： | 2007-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN101086483A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 下田一弘 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G02F1/133 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 将第一和第二偏光板横过待检查的膜放置成形成正交偏振。光源通过第一偏光板向膜投射光线。光线接收器接收透射过膜和第二偏光板的光线。当θ1表示在光线接收器的光轴与垂直于膜表面的法线之间形成的角度，θ2表示在光轴与正交于膜的慢轴的基准线之间形成的旋转角度时，将光线接收器定位成满足如下条件：15°≤θ1≤35°，20°≤θ2≤60°。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 缺陷 设备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于检测膜缺陷的缺陷检查设备，包括：在所述膜的两侧放置成形成正交偏振的一对偏光板，所述偏光板平行于所述膜的前表面和后表面，一个所述偏光板的偏光透射轴近似平行于所述膜的慢轴； 光源，所述光源用于通过一个所述偏光板将光线投射到所述膜的一个所述表面上；放置在与所述光源相对的所述膜的一侧的光线接收器，所述光线接收器首先接收从所述光源投射并透射过所述膜和另一所述偏光板的光线，然后输出与接收的光线相对应的光电信号；和判断装置，所述判断装置根据来自所述光线接收器的光电信号判断所述膜中是否存在缺陷，其中当θ1表示在所述光线接收器的光轴与垂直于所述膜的所述表面的法线之间形成的角度，θ2表示在所述光轴与正交于所述膜的所述慢轴的基准线之间形成的旋转角度时，将所述光线接收器定位成满足如下条件：15°≤θ1≤35°，20°≤θ2≤60°。
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