[发明专利]具有激光光束输出的自动修正功能的激光装置

摘要

激光装置具有：激光振荡部、对激光振荡部供给振荡用电力的电源、测定由激光振荡部振荡的激光光束的输出的输出测定部、根据激光振荡指令值和由输出测定部得到的激光输出测定值控制电源的电源控制部。电源控制部具有：按照激光振荡指令值对电源指令向激光振荡部的电力供给动作的电力供给指令部；和根据给予电力供给指令部的多个不同的激光振荡指令值以及关于按照这些激光振荡指令值激光振荡部振荡的激光光束，由输出测定部得到的多个不同的激光输出测定值，求出近似表示激光输出测定值对于激光振荡指令值的相关性的函数的函数运算部。电力供给指令部在函数运算部求出函数后，根据函数对激光振荡指令值执行修正处理，并且按照施行了修正处理的激光振荡指令值，向电源指令电力供给动作。

主权项

1.一种激光装置，具有激光振荡部(12)、对该激光振荡部供给振荡用电力(E)的电源(14)、测定由该激光振荡部振荡的激光光束(L)的输出(P)的输出测定部(16)、根据激光振荡指令值(C)和由该输出测定部得到的激光输出测定值(M)控制该电源的电源控制部(18)，其特征在于，所述电源控制部(18)，具有：按照激光振荡指令值(C)向所述电源(14)指令向所述激光振荡部(12)的电力供给动作的电力供给指令部(20)，和根据所述电力供给指令部所给予的多个不同的激光振荡指令值(C；C1，C2，...Cn)、以及关于按照这些激光振荡指令值所述激光振荡部(12)振荡的激光光束(L；L1，L2，...Ln)，由所述输出测定部(16)得到的多个不同的激光输出测定值(M；M1，M2，...Mn)，求出近似地表示该激光输出测定值对于该激光振荡指令值的相关性的函数(F；Fs；Fp)的函数运算部(22)，所述电力供给指令部在所述函数运算部求出所述函数之后，根据该函数对激光振荡指令值执行修正处理，并且按照进行了该修正处理后的该激光振荡指令值，向所述电源指令所述电力供给动作。