[发明专利]真空装置、其颗粒监控方法、程序以及颗粒监控用窗口部件无效
| 申请号： | 200710139134.1 | 申请日： | 2005-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN101082560A | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 守屋刚;中山博之 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01N15/00 | 分类号： | G01N15/00;G01N15/02;G01N15/06;B08B9/08 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种可切实地监控包含易剥离的沉积物的颗粒，正确地评价真空装置的清洁度的颗粒监控用窗口部件。该颗粒监控用窗口部件，由在形成预定空间的框体和监控该框体内的颗粒的颗粒监控装置之间设置的透明基件制成，基件由透明的基座和在与该基座上的所述框体内的气体相对面的面上实施预定处理的表面处理层构成。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 颗粒 监控 方法 程序 以及 窗口 部件 | ||
【主权项】：
1.一种颗粒监控用窗口部件，由在形成预定空间的框体和监控该框体内的颗粒的颗粒监控装置之间设置的透明基件制成，其特征在于：所述基件由透明的基座和在与该基座上的所述框体内的气体相对面的面上实施预定处理的表面处理层构成。
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