[发明专利]基板处理装置

摘要

一种基板处理装置，能够正确地测定从狭缝喷嘴喷出的处理液的状态。该基板处理装置设置有在狭缝喷嘴(41)的二次侧设置的抽取空气用的配管(42)。使配管(42)与设置在狭缝喷嘴(41)的一次侧的配管(63)不直接连通而独立，并且，使配管(42)直接与狭缝喷嘴(41)内的流路(410)连通。在配管(42)上设置压力传感器(413)，将测定值传送到控制部(8)。由泵(61)将抗蚀液供给到狭缝喷嘴(41)，并利用压力传感器(413)来测定此时的配管(42)内的压力。

主权项

1.一种基板处理装置，其向基板涂敷处理液，其特征在于，该基板处理装置包括：狭缝喷嘴，其在内部设置有处理液的流路，并从所述流路经由狭缝状的喷出口喷出处理液；移动装置，其使涂敷处理液的基板与所述狭缝喷嘴相对移动；送液装置，其经由处理液的第一流路向所述狭缝喷嘴内的所述流路输送处理液；处理液的第二流路，其与所述第一流路独立地设置，并与所述狭缝喷嘴内的所述流路直接连通；压力测定装置，其设置在所述第二流路上；移动控制装置，其根据所述压力测定装置的测定结果来控制所述移动装置。