[发明专利]适合于酸生成剂的盐以及含有该盐的化学放大型正性抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 200710140073.0 | 申请日： | 2007-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN101125823A | 公开（公告）日： | 2008-02-20 |
| 发明（设计）人： | 吉田勋;原田由香子;宫川贵行 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C309/02 | 分类号： | C07C309/02;C07C381/12;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种式(I)表示的盐，其中，X表示C1－C12二价直链或支链烃基，Y表示可以被至少一个取代基取代的C1－C30烃基，并且在所述C1－C30烃基中的至少一个－CH2－可以被－O－或－CO－取代，Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1－C6全氟烷基，并且A+表示有机抗衡离子。本发明还提供一种含有上述式(I)表示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 适合于 生成 以及 含有 化学 大型 正性抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种式(I)表示的盐：![]()
其中，X表示C1-C12二价直链或支链烃基，Y表示可以被至少一个取代基取代的C1-C30烃基，并且在所述C1-C30烃基中的至少一个-CH2-可以被-O-或-CO-取代，Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，并且A+表示有机抗衡离子。
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