[发明专利]研磨液供应装置的气泡抑制器无效
| 申请号： | 200710140182.2 | 申请日： | 2007-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN101143275A | 公开（公告）日： | 2008-03-19 |
| 发明（设计）人： | 李暎熏;刘载贤 | 申请（专利权）人： | 株式会社细美事 |
| 主分类号： | B01D19/02 | 分类号： | B01D19/02;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高翔 |
| 地址： | 韩国忠清南*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供一种研磨液供应装置的气泡抑制器，特别是，其中的气泡抑制器排除研磨液供应装置产生的气泡的一种研磨液供应装置的气泡抑制器。该气泡抑制器系统包括存储研磨液的研磨液桶，容器，研磨液从上述研磨液桶供应至该容器；及设于上述研磨液桶和上述容器之间的气泡抑制器。该气泡抑制器收集从上述研磨液桶供应的研磨液中产生的气泡。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 供应 装置 气泡 抑制器 | ||
【主权项】：
1.研磨液供应装置的气泡抑制器系统，包含：存储研磨液的研磨液桶；容器，研磨液从上述研磨液桶供应至该容器；及气泡抑制器，设于上述研磨液桶和上述容器之间，该气泡抑制器收集从上述研磨液桶供应的研磨液产生的气泡。
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