[发明专利]液滴喷头及其制造方法、液滴喷出装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种可使喷嘴高密度化且能够防止喷嘴间的压力干涉的液滴喷头、液滴喷头的制造方法等。液滴喷头(10)至少具备：喷嘴基板(1)、具有喷出室(31)的腔基板(3)、具有作为贮存室(23)的贮存室凹部(23a)的贮存室基板(2)，该液滴喷头(10)具有树脂薄膜(111)，所述树脂薄膜(111)不是形成在贮存室基板(2)与喷嘴基板(1)或者腔基板(3)的各粘接面上，而是通过成膜形成在贮存室凹部(23a)的内面整体上，贮存室凹部(23a)的底面的一部分是由树脂薄膜(111)构成的缓冲压力变动的隔膜部(100)。

主权项

1.一种液滴喷头，其至少具备：喷嘴基板，其具有多个喷嘴孔；腔基板，其具有与所述各喷嘴孔连通，使室内产生压力并从所述喷嘴孔喷出液滴的多个独立的喷出室；贮存室基板，其具有作为相对所述喷出室共用连通的贮存室的贮存室凹部，且设置于所述喷嘴基板和所述腔基板之间，所述液滴喷头的特征在于，具有树脂薄膜，所述树脂薄膜不是形成在所述贮存室基板与所述喷嘴基板或者所述腔基板的各粘接面上，而是通过成膜形成在所述贮存室凹部的内面整体上，所述贮存室凹部的底面是由所述树脂薄膜构成的缓冲压力变动的隔膜部。