[发明专利]液晶显示装置及其制造方法

摘要

过去的删减制造工序数量的制造方法当通道长度变短时，制造余量变小，量产率较低。其解决手段是将引入半色调曝光技术而使扫描线的形成工序和半导体层的岛化工序予以合理化的新颖技术；和将半色调曝光技术引入到属于公知技术的源极、漏极布线的阳极氧化工序中，使电极端子的保护层形成工序予以合理化的新颖技术；和属于公知技术的同时形成像素电极和扫描线的合理化技术，进行组合而构筑TN型液晶显示装置和IPS型液晶显示装置的四道掩膜板工艺方案和三道掩膜板工艺方案。

主权项

1.一种液晶显示装置，是将液晶充填于在一个主表面上至少具有绝缘栅极型晶体管，兼作上述绝缘栅极型晶体管之栅极电极的扫描线，和也兼作源极布线的信号线，和被连接到漏极布线上的像素电极等等的单位像素被配列成二维矩阵的第一透明性绝缘基板，和与上述第一透明性绝缘基板相对的第二透明性绝缘性基板或者彩色滤光板之间而所构成的液晶显示装置，其特征为：至少在第一透明性绝缘基板的一个主表面上形成有由一层以上的金属层所构成，其侧面具有绝缘层的扫描线，在栅极电极上形成有一层以上的栅极绝缘层和不含杂质的第一半导体层，在上述第一半导体层上形成有将成为绝缘栅极型晶体管的源极、漏极的一对含有杂质的第二半导体层，在图像显示部分外的区域中，在扫描线上的栅极绝缘层上形成有开口部分，在上述第半导体层上和第一透明性绝缘基板上形成有由一层以上的可阳极氧化的金属层所构成的源极(信号线)、漏极布线，和包含有上述开口部分的相同扫描线的电极端子，在上述漏极布线上和第一透明性绝缘基板上形成有透明导电性的像素电极，和在图像显示部分外的区域中，在信号线上形成有透明导电性的电极端子，除与上述漏极布线上的像素电极重叠的区域和上述信号线的电极端子区域之外，在源极.漏极布线的表面上形成有阳极氧化层，在上述源极.漏极布线间的第一半导体层上形成有氧化硅层。