[发明专利]可变形镜及该可变形镜的制造方法

摘要

可变形镜包括支承基板，该支承基板设置有接合至层叠式压电致动器的导电接合部分，该导电接合部分被分成两个区域。所述压电致动器的接合表面设置有第一金属膜，该第一金属膜被分成彼此不电连接的第一区域和第二区域。所述压电致动器的侧面设置有第二金属膜，该第二金属层将第一公共电极和第一区域电连接，或将第二公共电极和第二区域电连接。所述压电致动器设置在接合部分上，以使得第一金属膜的各个区域分别电连接到接合部分的不同区域。

主权项

1.一种可变形镜，包括：支承基板；镜基板，其与该支承基板相对，且在与面对该支承基板的表面相对的表面上具有反射面；固定构件，其设置在该支承基板上，并固定该镜基板；以及至少一个压电致动器，设置在该支承基板上，使得该镜基板的、被该固定构件固定的一部分所包围的区域能够变形；其中：所述压电致动器由交替叠置的多个层状压电构件和多个层状电极构成，并且所述层状电极交替连接到第一公共电极和第二公共电极，该第一公共电极和该第二公共电极设置在所述压电致动器的、与叠置方向近似平行的侧面，以使得所述层状电极交替具有不同的极性；该支承基板设置有至少一个导电接合部分以接合至所述压电致动器，所述导电接合部分被分成两个区域；所述压电致动器的接合表面设置有第一金属膜，该第一金属膜被分成彼此不电连接的第一区域和第二区域；以及所述压电致动器的每一个侧面均设置有第二金属膜，该第二金属膜用来使该第一公共电极和该第一区域电连接，或使该第二公共电极和该第二区域电连接。