[发明专利]用于电化学加工的电极无效
| 申请号： | 200710141792.4 | 申请日： | 2007-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN101372058A | 公开（公告）日： | 2009-02-25 |
| 发明（设计）人： | A·帕尔霍武斯基;L·M·德沃斯津;R·A·艾迪;R·M·佩尔斯特林 | 申请（专利权）人： | 希捷科技有限公司 |
| 主分类号： | B23H3/04 | 分类号： | B23H3/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 徐迅 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 揭示了一种用于电化学加工的电极，它包括位于电极表面上的介电层，以及包含嵌埋在所述电极表面下的金属的有源层，其中所述电极设计成通过电化学加工法在工件上形成凹槽图案。所述电极能够制造包括用于流体动力学轴承的凹槽图案的工件，例如相对板，套管轴颈或锥形轴承，所述凹槽图案的节距小于80微米。所述电极可通过包括以下步骤的方法制造：在金属表面上沉积介电层，在介电层上沉积光刻胶层，在所述光刻胶层上印刷凹槽图案，通过蚀刻或物理－化学方法除去所述介电光刻胶层的一些部分，从而在所述介电层中形成凹槽；除去光刻胶层；以及用金属填充所述凹槽，以制备电极。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电化学 加工 电极 | ||
【主权项】：
1.一种电极，它包括形成电极表面的介电层、以及包括嵌埋在所述电极表面下的金属的有源区。
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