[发明专利]灯丝灯及光照式加热处理装置有效
申请号: | 200710142355.4 | 申请日: | 2007-08-22 |
公开(公告)号: | CN101131920A | 公开(公告)日: | 2008-02-27 |
发明(设计)人: | 水川洋一;北川铁也;铃木信二 | 申请(专利权)人: | 优志旺电机株式会社 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/26;H05B3/00;H01K1/16 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 钟强;关兆辉 |
地址: | 日本国东京*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供一种的灯丝灯及可以均匀加热被处理体的光照式加热处理装置,可以独立控制多个灯丝的发光状态,取得期望的放射照度分布,且即使向灯丝投入大电力时,也可切实防止在相邻的灯丝体中互相接近的部分发生不期望的放电。灯丝灯在发光管的内部沿着管轴方向依次并列设置各个由灯丝和导线构成的多个灯丝体而成,以相邻的灯丝体的互相接近的端部彼此为同相位的方式,分别独立向各灯丝供给交流电,或以相邻灯丝体的互相接近的端部彼此为同极性的方式,分别独立向各灯丝供给直流电。光照式加热处理装置具有该灯丝灯。 | ||
搜索关键词: | 灯丝 光照 加热 处理 装置 | ||
【主权项】:
1.一种灯丝灯,在至少一端形成有封固部的直管状的发光管内部,以各灯丝在发光管管轴方向延伸的方式,在管轴方向依次并列配置多个连接线圈状的灯丝和向该灯丝供电的导线而构成的灯丝体,各灯丝体中的各个导线分别与设在封固部的多个导电性部件电连接,具有分别独立对各灯丝供电的供电机构,其特征在于,供电机构为交流供电源,以相邻灯丝体的互相接近的端部彼此为同相位的方式,与上述导电性部件连线。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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