[发明专利]铈系研磨材料及其原料有效
申请号: | 200710142719.9 | 申请日: | 2004-03-29 |
公开(公告)号: | CN101104791A | 公开(公告)日: | 2008-01-16 |
发明(设计)人: | 小林大作;内野义嗣;山崎秀彦 | 申请(专利权)人: | 三井金属鉱业株式会社 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 徐迅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供具有发生损伤更少等优良研磨特性、研磨速度更高的铈系研磨材料。该铈系研磨材料作为稀土类氧化物至少含有氧化铈(CeO2)、氧化镧(La2O3)及氧化钕(Nd2O3),并含有氟元素(F),其总稀土类氧化物换算重量(TREO)为90wt%以上,同时,TREO中氧化铈所占重量比(CeO2/TREO)为50wt%~65wt%,并且TREO中氧化钕所占重量比(Nd2O3/TREO)为10wt%~16wt%。使用这样的铈系研磨材料能迅速得到研磨损伤发生较少的研磨面。 | ||
搜索关键词: | 研磨 材料 及其 原料 | ||
【主权项】:
1.铈系研磨材料,它是作为稀土类氧化物至少含有氧化铈、氧化镧及氧化钕,并含有氟元素的铈系研磨材料,其特征在于,总稀土类氧化物换算重量(TREO)中氧化铈所占重量比(CeO2/TREO)为45wt%~70wt%,总稀土类氧化物换算重量中氧化镧(La2O3)与氧化钕(Nd2O3)的重量比(La2O3/Nd2O3)为1.4~2.8,还有,总稀土类氧化物换算重量中氧化镨所占重量比(Pr6O11/TREO)为2.0wt%~8.0wt%。
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