[发明专利]工厂自动化系统以及相关方法有效
| 申请号： | 200710142783.7 | 申请日： | 2007-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN101281404A | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 黄志伟;陈蕙怡;游仁祈;游志源 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种工厂自动化系统以及相关方法。工厂自动化系统包括一制造执行系统、一物料控制系统、一自动化物料搬运系统以及一实时派发系统；制造执行系统用以提供晶片批次信息；物料控制系统用以提供动态流量信息；自动化物料搬运系统用以提供静态路径信息；实时派发系统依据一传送请求，选取一晶片载具的一目的地以及到该选取目的地的一路径。本发明提供的工厂自动化系统以及相关方法可以安排批次和/或减少流量，以确保制造过程的机台和/或阶段间的超级热批以及高优先批次的及时地运输。 | ||
| 搜索关键词： | 工厂 自动化 系统 以及 相关 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种工厂自动化系统，适用于一晶片制造厂，该晶片制造厂包括多个隔间，其中每一所述隔间包括由一隔间内高架式晶片运输系统互连的多个制造设备，以及至少一隔间之间高架式晶片运输系统，用以互连所述隔间内高架式晶片运输系统，该工厂自动化系统包括：一制造执行系统，用以提供关于该晶片制造厂内正被处理中的晶片批次信息；一物料控制系统，用以提供关于该晶片制造厂内的晶片运输的动态流量信息；一自动化物料搬运系统，用以提供关于该晶片制造厂内的晶片运输的静态路径信息；以及一实时派发系统，用以响应一传送请求，利用该制造执行系统的批次信息、该物料控制系统的动态流量信息以及该自动化物料搬运系统的静态路径信息，选取含有多个晶片的一晶片载具的一目的地以及到该选取目的地的一路径。
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