[发明专利]分子泵无效

专利信息
申请号: 200710142863.2 申请日: 2007-08-01
公开(公告)号: CN101092965A 公开(公告)日: 2007-12-26
发明(设计)人: 朱岳 申请(专利权)人: 朱岳
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100081北京市海淀*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种分子泵,所述分子泵包括电机组件1、动叶轮组件2、静叶片4、电机主轴5、泵壳6、泵底盘7和排气口8。主要特点在于:动叶轮组件2直联在所述的电机主轴5上。动叶轮组件2由动叶片3串联组成,并自上而下分别构成抽气级动叶片和压缩级动叶片。动叶片3与所述的静叶片4交错排列。静叶片4叶齿的内、外端均为整体环形,其外环形内径小于或等于动叶片3的外径。分子泵的末级叶片为静叶片4。静叶片4固定在所述的泵壳6和泵底盘7上。抽气级叶片的数量≥1级。压缩级叶片的数量≥2级。本发明结构设计合理,强度高而使用寿命长,具有大抽速和压缩比,能够抑制气体分子轴向返流。
搜索关键词: 分子
【主权项】:
1.一种分子泵,所述的分子泵包括电机组件(1)、动叶轮组件(2)、静叶片(4)、电机主轴(5)、泵壳(6)、泵底盘(7)和排气口(8);其特征在于:所述的动叶轮组件(2)直联在所述的电机主轴(5)上;所述的动叶轮组件(2)由动叶片(3)串联组成,并自上而下分别构成抽气级动叶片和压缩级动叶片;所述的动叶片(3)与所述的静叶片(4)交错排列;所述的静叶片(4)的叶齿的内、外端均为整体环形,其外环形内径小于或等于所述的动叶片(3)的外径;所述的分子泵的末级叶片为静叶片(4);所述的静叶片(4)固定在所述的泵壳(6)和泵底盘(7)上。
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