[发明专利]分子泵无效
申请号: | 200710142863.2 | 申请日: | 2007-08-01 |
公开(公告)号: | CN101092965A | 公开(公告)日: | 2007-12-26 |
发明(设计)人: | 朱岳 | 申请(专利权)人: | 朱岳 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04 |
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地址: | 100081北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种分子泵,所述分子泵包括电机组件1、动叶轮组件2、静叶片4、电机主轴5、泵壳6、泵底盘7和排气口8。主要特点在于:动叶轮组件2直联在所述的电机主轴5上。动叶轮组件2由动叶片3串联组成,并自上而下分别构成抽气级动叶片和压缩级动叶片。动叶片3与所述的静叶片4交错排列。静叶片4叶齿的内、外端均为整体环形,其外环形内径小于或等于动叶片3的外径。分子泵的末级叶片为静叶片4。静叶片4固定在所述的泵壳6和泵底盘7上。抽气级叶片的数量≥1级。压缩级叶片的数量≥2级。本发明结构设计合理,强度高而使用寿命长,具有大抽速和压缩比,能够抑制气体分子轴向返流。 | ||
搜索关键词: | 分子 | ||
【主权项】:
1.一种分子泵,所述的分子泵包括电机组件(1)、动叶轮组件(2)、静叶片(4)、电机主轴(5)、泵壳(6)、泵底盘(7)和排气口(8);其特征在于:所述的动叶轮组件(2)直联在所述的电机主轴(5)上;所述的动叶轮组件(2)由动叶片(3)串联组成,并自上而下分别构成抽气级动叶片和压缩级动叶片;所述的动叶片(3)与所述的静叶片(4)交错排列;所述的静叶片(4)的叶齿的内、外端均为整体环形,其外环形内径小于或等于所述的动叶片(3)的外径;所述的分子泵的末级叶片为静叶片(4);所述的静叶片(4)固定在所述的泵壳(6)和泵底盘(7)上。
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