[发明专利]一种薄膜材料的透射电镜样品的制备方法无效
| 申请号： | 200710144117.7 | 申请日： | 2007-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN101216386A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 王翠萍;李甜;刘兴军;黄艺雄;张锦彬;施展;马云庆 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;C23C14/35 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种薄膜材料的透射电镜样品的制备方法，涉及一种电镜样品，尤其是涉及一种适合于400℃以下磁控溅射制备的各种成分、各种厚度的薄膜材料的透射电镜样品的制备方法。提供一种制备过程简单、成功率较高的薄膜材料的透射电镜样品的制备方法。采用磁控溅射镀膜方法制备薄膜，薄膜的衬底是热固性聚酰亚胺；将镀膜后的薄膜放入双联网中；将双联网和薄膜浸入80％的水合肼中，待热固性聚酰亚胺完全溶解，取出放入酒精中清洗；将清洗后的双联网放入离子减薄仪，使用角度6～9°进行减薄，直到减漏为止。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 材料 透射 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜材料的透射电镜样品的制备方法，其特征在于其步骤为：1)采用磁控溅射镀膜方法制备薄膜，薄膜的衬底是热固性聚酰亚胺；2)将镀膜后的薄膜放入双联网中；3)将双联网和薄膜浸入80％的水合肼中，待热固性聚酰亚胺完全溶解，取出放入酒精中清洗；4)将清洗后的双联网放入离子减薄仪，使用角度6～9°进行减薄，直到减漏为止。
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