[发明专利]用于一显影机台的液体回收装置及包含该装置的显影机台有效
| 申请号： | 200710145733.4 | 申请日： | 2007-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN101122751A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | 倪仲远;吴昌桦 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;G03F7/26;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 台湾*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于一显影机台的液体回收装置及包含该装置的显影机台，其中该显影机台包含一液体施配装置及一输送装置，该输送装置将一基板沿一方向运送，进入一涂布区域，以将该液体施配装置所配施的液体，均布于该基板的一表面上；该液体回收装置包含：一液体容器以及一驱动装置，其装设于该液体容器的一侧，用以带动该液体容器至一第一位置，承接该所配施的液体。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 显影 机台 液体 回收 装置 包含 | ||
【主权项】：
1.一种用于一显影机台的液体回收装置，该显影机台包含一液体施配装置及一输送装置，该输送装置将一基板沿一方向运送，进入一涂布区域，以将该液体施配装置所配施的液体，均布于该基板的一表面上，其特征在于，该液体回收装置包含：一液体容器；以及一驱动装置，其装设于该液体容器的一侧，用以带动该液体容器至一第一位置，承接该所配施的液体。
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