[发明专利]变换光钳夹的装置与方法有效
| 申请号： | 200710145787.0 | 申请日： | 2007-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN101383197A | 公开（公告）日： | 2009-03-11 |
| 发明（设计）人： | 徐琅;刘承贤;曾胜阳;周忠诚;王威;吴丰旭;彭震;李大元 | 申请（专利权）人： | 佳世达科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G21K1/00 | 分类号： | G21K1/00;G01N15/00;G01N37/00;G02B5/30;G02B27/42 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;李丙林 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种变换光钳夹的装置，包括衍射光学元件、掩模单元和物镜。衍射光学元件包括多个相位延迟图形。掩模单元包括对应于前述多个相位延迟图形的多个掩膜图形，其中这些掩膜图形为至少部份互补。从各个相位衍射图形穿过的激光对应穿过各个掩膜图形并形成合成衍射图形。物镜用于接收该合成衍射图形，并将其聚焦于检测试件上以形成光钳夹。 | ||
| 搜索关键词： | 变换 光钳夹 装置 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种变换光钳夹的装置，包括:衍射光学元件，包括多个相位延迟图形；掩模单元，包括对应于所述相位延迟图形的多个掩膜图形，从各所述相位延迟图形穿过的激光对应穿过各所述掩膜图形以形成合成衍射图形，其中所述掩膜图形为至少部份互补；以及物镜，接收所述合成衍射图形并在检测试件上聚焦形成所述合成衍射图形的光钳夹。
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