[发明专利]等离子体发生装置及使用这种装置的工件处理装置无效
| 申请号： | 200710148035.X | 申请日： | 2007-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN101137267A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 新井清孝;万川宏史;松内秀高;岩崎龙一;吉田和弘;增田滋;林博史;三毛正明 | 申请（专利权）人： | 诺日士钢机株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30;B01J19/08;C23C16/455;C23F4/00;H01L21/302 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 武玉琴;张友文 |
| 地址： | 日本和*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体发生装置以及使用这种装置的工件处理装置，该等离子体发生装置包括：微波发生部，生成微波；气体供给部，提供等离子体化的气体；等离子体发生喷嘴，包括接收上述微波的内侧电极、以及同心配置在该内侧电极外侧的外侧电极，并根据上述微波的能量，将上述气体等离子体化后从前端喷出；以及适配器，安装在上述等离子体发生喷嘴的前端，其中，上述等离子体发生喷嘴使上述内侧电极与外侧电极之间产生辉光放电，生成等离子体，并通过向这两个电极之间供应上述气体，在常压下把等离子体化的气体从两个电极之间的环状排出口喷射出来，上述适配器把上述环状排出口变换成长形的排出口。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 发生 装置 使用 这种 工件 处理 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体发生装置，包括：微波发生部，生成微波；气体供给部，提供等离子体化的气体；等离子体发生喷嘴，包括接收上述微波的内侧电极、以及同心配置在该内侧电极外侧的外侧电极，并根据上述微波的能量，将上述气体等离子体化后从前端喷出；以及适配器，安装在上述等离子体发生喷嘴的前端，其中，上述等离子体发生喷嘴使上述内侧电极与外侧电极之间产生辉光放电，生成等离子体，并通过向这两个电极之间供应上述气体，在常压下把等离子体化的气体从两个电极之间的环状排出口喷射出来，上述适配器把上述环状排出口变换成长形的排出口。
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