[发明专利]圆盘状基板的内周研磨方法和内周被研磨的圆盘状基板无效
| 申请号： | 200710149285.5 | 申请日： | 2007-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN101143422A | 公开（公告）日： | 2008-03-19 |
| 发明（设计）人： | 羽根田和幸;渡边国增;佐藤阳介 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社;西铁城精密株式会社 |
| 主分类号： | B24B5/48 | 分类号： | B24B5/48 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种圆盘状基板的内周研磨方法和内周被研磨的圆盘状基板，其通过简便的方法没有差别且精度良好地研磨圆盘状基板的中心的开孔。该圆盘状基板的内周研磨方法对在中心具有开孔的圆盘状基板的内周进行研磨，在圆盘状基板的开孔中插入刷子，将该刷子的一端和另一端固定于安装在彼此远离的位置上的一对旋转轴，牵引刷子的一端和/或另一端，对刷子的芯施加轴芯方向的牵引力，使该刷子旋转来进行研磨。 | ||
| 搜索关键词： | 圆盘 状基板 研磨 方法 内周被 | ||
【主权项】：
1.一种圆盘状基板的内周研磨方法，其对在中心具有开孔的圆盘状基板的内周进行研磨，在上述圆盘状基板的该开孔中插入刷子，将上述刷子的一端和另一端固定在设置于彼此远离的位置上的一对旋转轴上，对该刷子的该一端和/或该另一端进行牵引，对该刷子的芯施加轴芯方向的牵引力，使上述刷子旋转进行研磨。
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