[发明专利]电子束加热蒸发方法与装置及其用途无效
| 申请号： | 200710150785.0 | 申请日： | 2007-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN101177777A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 张德贤;蔡宏琨;隋妍萍;陶科;薛颖;席强;姜元建;冯凯;齐龙茵;赵敬芳;王林申;孙云 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54;C23C14/06 |
| 代理公司： | 天津佳盟知识产权代理有限公司 | 代理人： | 廖晓荣 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸发具有较高熔点粉末状材料的新型电子束加热蒸发方法与装置。所述方法结合电子束加热蒸发和电阻加热蒸发两种蒸发方式，由高压直流电源为灯丝阴极提供负偏压，使之与接地坩埚间形成强电场；另由低压交流电源为灯丝热阴极提供一个可调的工作电流，使灯丝热阴极发射电子束流；电子束束流在强电场作用下，高速轰击坩埚，将坩埚加热。使用本发明的电子束加热蒸发的方法与装置可以制备用于电致变色器件的变色层三氧化钨WO3薄膜和电解质层氟化锂LiF薄膜，制备的薄膜材料致密、电荷传输性能优良；用于聚酰亚胺衬底柔性薄膜太阳电池镍阻挡层薄膜蒸发制备时，膜厚可以得到精确控制。且设备操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 加热 蒸发 方法 装置 及其 用途 | ||
【主权项】：
1.一种电子束加热蒸发方法，其特征在于：所述方法结合电子束加热蒸发和电阻加热蒸发两种蒸发方式，由高压直流电源为灯丝热阴极提供负偏压，使之与接地坩埚间形成强电场；另由低压交流电源为灯丝热阴极提供一个大小可调的工作电流，加热后的灯丝热阴极用以发射电子束；所述电子束束流在强电场作用下，高速轰击坩埚，将坩埚加热，用以蒸发镀膜材料。
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