[发明专利]闪烁器面板和放射线图象传感器有效
| 申请号： | 200710154404.6 | 申请日： | 2000-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN101290353A | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 本目卓也;高林敏雄 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01T1/20 | 分类号： | G01T1/20 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在闪烁器面板(1)的a－C制的基片(10)的一侧的表面上形成作为光反射膜的Ag膜(12)。这个Ag膜(12)的整个表面被用于保护Ag膜(12)的SiN膜(14)覆盖。在这个SiN膜(14)的表面上形成将入射的放射线变换成可见光的柱状构造的闪烁器(16)。这个闪烁器(16)和基片(10)一起被聚对二甲苯膜(18)覆盖。 | ||
| 搜索关键词： | 闪烁 面板 放射线 图象 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种闪烁器面板，其特征在于，它备有：透过放射线的基片，设置在所述基片上的反射性金属薄膜，覆盖所述反射性金属薄膜全体的保护膜，和通过蒸涂堆积在所述保护膜上的闪烁器，所述反射性金属薄膜在透过放射线的同时，反射在所述闪烁器上发出的光，所述保护膜具有从所述闪烁器保护所述反射性金属薄膜的功能。
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