[发明专利]一种利用有效面积来建立记忆体电路的成品率模型的方法有效
| 申请号： | 200710157002.1 | 申请日： | 2007-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN101178745A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 郑勇军;马铁中;史峥;严晓浪 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明一种利用有效面积来建立记忆体电路成品率模型的方法，包括：(1)建立记忆体原始成品率模型；(2)建立记忆体特征失效成品率的模型；(3)记忆体特征失效的修复计算；(4)记忆体最终成品率的计算；(5)记忆体特征失效和工艺模块的缺陷率的互逆运算，建立记忆体电路成品率模型。本发明方法利用记忆体的设计版图，记忆体可利用的修复资源以及生产线各个工艺模块的缺陷率曲线，就可以精确地预估记忆体的初始成品率，修复之后的成品率，主要的失效特征的成品率，并且能够优化修复资源的设计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 有效面积 建立 记忆体 电路 成品率 模型 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用有效面积来建立记忆体电路成品率模型的方法，包括：(1)建立记忆体原始成品率模型；(2)建立记忆体特征失效成品率的模型；(3)记忆体特征失效的修复计算；(4)记忆体最终成品率的计算；(5)记忆体特征失效和工艺模块的缺陷率的互逆运算，建立记忆体电路成品率模型。
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