[发明专利]衬底传送设备及其驱动方法无效
| 申请号： | 200710159674.6 | 申请日： | 2007-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN101179923A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 金成具;潘钟亿 | 申请（专利权）人： | 三星TECHWIN株式会社 |
| 主分类号： | H05K13/00 | 分类号： | H05K13/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 柴毅敏 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种衬底传送设备及其驱动方法，该设备包括第一导向块和第二导向块，并且连接至第一和第二导向块的单滚珠丝杠沿其轴向移动所述导向块。第一驱动单元旋转所述滚珠丝杠以同时移动所述一对导向块，并且连接至第二导向块的第二驱动单元相对于第一导向块单独移动第二导向块。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 传送 设备 及其 驱动 方法 | ||
【主权项】：
1.一种衬底传送设备，包括：包括第一导向块和第二导向块的一对导向块；连接至所述一对导向块的滚珠丝杠，用于使所述一对导向块沿着所述滚珠丝杠的轴向移动；第一驱动单元，连接至所述滚珠丝杠的一端以旋转所述滚珠丝杠并因此同时移动所述一对导向块；以及第二驱动单元，连接至所述第二导向块以相对于所述第一导向块单独移动所述第二导向块。
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