[发明专利]清洗方法及清洗装置无效
| 申请号： | 200710159677.X | 申请日： | 2007-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN101195118A | 公开（公告）日： | 2008-06-11 |
| 发明（设计）人： | 渡部秀夫 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;H01L21/00;H01L21/304;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种清洗物体的方法，在处理室中，通过供应带有添加剂的超临界流体以及单独使用超临界流体冲洗物体来清洗物体，包括如下步骤：在冲洗处理时，打开从添加剂管分支出的支管的背压阀；以及通过单独使超临界流体流通进入添加剂管和支管，从添加剂管中清除残留的添加剂。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种清洗物体的方法，在处理室中，通过供应带有添加剂的超临界流体以及单独使用超临界流体冲洗物体来清洗物体，包括如下步骤：在冲洗处理时，打开从添加剂管分支出的支管的背压阀；以及通过单独使超临界流体流入所述添加剂管和支管，从所述添加剂管中清除残留的添加剂。
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