[发明专利]立式热处理装置和立式热处理方法

摘要

本发明涉及一种立式热处理装置，该装置包括：在下部具有炉口的热处理炉；封闭该炉口的盖体；在盖体上通过保温筒对载置的多枚基板(W)以多层的方式保持的基板保持具；通过设置在盖体上的保温筒使基板保持具旋转的旋转机构；和使盖体升降后将基板保持具搬入搬出炉内的升降机构。当一个基板保持具位于炉内时，另一个基板保持具为了基板的移动载置而被载置在载置台上，在载置台与保温筒之间通过搬送机构搬送基板保持具。在保温筒的上部与各个基板保持具的底部设置有在利用搬送机构使基板保持具位于保温筒的正上方的状态下，当利用旋转机构使保温筒旋转规定角度时能够相互卡合固定或者解除卡合固定的卡合固定部与被卡合固定部。

主权项

1.一种立式热处理装置，其特征在于，该装置包括：在下部形成有炉口的热处理炉；保持多个基板，并被搬入热处理炉内对基板实施热处理的一对基板保持具；闭塞热处理炉的炉口的盖体；设置在盖体上的保温筒；设置在盖体上并且使盖体和保温筒旋转的旋转机构；使盖体升降的升降机构；与热处理炉的下方邻接设置的载置台；和在保温筒上以及载置台上之间搬送一对基板保持具的各个的搬送机构，在各个基板保持具和保温筒中的一方设置卡合固定部，同时在另一方设置被卡合固定部，利用搬送机构将该基板保持具保持在保持筒正上方，并且通过利用旋转机构使保持筒旋转，卡合固定部和被卡合固定部变为能够卡合固定或者能够解除卡合固定的状态。