[发明专利]回收杯清洗方法以及基板处理装置无效
| 申请号： | 200710160337.9 | 申请日： | 2007-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN101204708A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 桥诘彰夫 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08;B08B3/08;B08B3/10;H01L21/302 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐恕 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种回收杯清洗方法和基板处理装置，该回收杯清洗方法是对回收杯进行清洗的方法，回收杯具有对回收空间划分的内壁，为回收引入至该回收空间的药液而将该药液引向给定的药液回收路径，其中，该回收空间引入有在基板处理中使用过的药液，该方法包括：清洗液清洗步骤，采用清洗液对所述回收空间的内壁进行清洗；药液清洗步骤，在该清洗液清洗步骤之后，采用与应经由所述回收空间回收的所述药液相同种类的清洗用药液，对所述回收空间的内壁进行清洗；废弃步骤，将在所述清洗液清洗步骤中引入至所述回收空间的清洗液、和在所述药液清洗步骤中引入至所述回收空间的清洗用药液引向与所述药液回收路径不同的废液路径而废弃。 | ||
| 搜索关键词： | 回收 清洗 方法 以及 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种回收杯清洗方法，对回收杯进行清洗，该回收杯具有对回收空间进行划分的内壁，为对引导至该回收空间内的药液进行回收而将该药液导向给定的药液回收路径，其中，该回收空间用于引导基板处理中使用过的药液，其特征在于，该方法包括：清洗液清洗步骤，采用清洗液对所述回收空间的内壁进行清洗；药液清洗步骤，在该清洗液清洗步骤之后，采用与应经由所述回收空间而回收的所述药液相同种类的清洗用药液，对所述回收空间的内壁进行清洗；废弃步骤，将在所述清洗液清洗步骤中引导至所述回收空间内的清洗液、和在所述药液清洗步骤中引导至所述回收空间内的清洗用药液导向与所述药液回收路径不同的废液路径而进行废弃。
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