[发明专利]显影处理装置无效
申请号: | 200710160564.1 | 申请日: | 2007-12-25 |
公开(公告)号: | CN101231478A | 公开(公告)日: | 2008-07-30 |
发明(设计)人: | 上村一秀;野间比吕志 | 申请(专利权)人: | 富士通日立等离子显示器股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种显影处理装置,该显影处理装置具有从显影液中除去在显影处理中产生的浮沫的功能。该显影处理装置具有储存显影液的显影罐,显影罐具有显影液流入部、泡累积部、浮沫除去部和显影液排出部。所述泡累积部,使得从所述显影液流入部流入的显影处理后的显影液中包含的泡(包含浮沫)的产生速度比所述泡的消失速度大,将所述泡累积在所述显影罐内。浮沫除去部在累积部中累积的包含浮沫的泡刚刚从显影罐中自然溢出时将其汇集起来,从所述泡除去所述浮沫。为了将除去浮沫后的显影液使用于显影处理中,显影液排出部从所述显影罐中排出所述显影液。 | ||
搜索关键词: | 显影 处理 装置 | ||
【主权项】:
1.一种显影处理装置,其特征在于:(a)包括储存显影液的显影罐,所述显影罐具备:(a1)显影液流入部,其将通过进行显影处理而排出的包含浮沫和泡的显影液流入所述显影罐;(a2)泡累积部,使得从所述显影液流入部流入的所述显影液中包含的所述泡,即包含所述浮沫的所述泡的产生速度比所述泡的消失速度大,将所述泡累积在所述显影罐内;(a3)浮沫除去部,其在所述泡累积部中累积的包含所述浮沫的所述泡刚刚从所述显影罐中自然溢出时将其汇集起来,从所述泡除去所述浮沫;和(a4)显影液排出部,为了将除去所述浮沫后的所述显影液使用于显影处理中而将其从所述显影罐中排出。
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