[发明专利]一种半导体结构及其制造方法无效
申请号: | 200710162009.2 | 申请日: | 2007-09-29 |
公开(公告)号: | CN101159290A | 公开(公告)日: | 2008-04-09 |
发明(设计)人: | 朱慧珑;骆志炯 | 申请(专利权)人: | 国际商业机器公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/786;H01L29/06;H01L21/336 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 秦晨 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 半导体结构包括含有体接触区的金属氧化物场效应晶体管,其中体接触区从位于沟道区域下方的体区延伸,沟道区域将金属氧化物场效应晶体管内的一对源/漏区分离。体接触区相对于沟道区域表面被凹进,以避免体接触与源/漏区之间的短路。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体结构,包括:位于基片上的有源半导体区;栅极电极,位于沟道区域上,并将包括有源半导体区内的一对延伸区的一对源/漏区分离,其中沟道区域位于有源半导体区内的体区上;体接触区,从体区延伸并从沟道区域的表面被凹进到一对延伸区下方。
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