[发明专利]检测玻璃盘的圆周表面缺陷的光学系统及装置无效
| 申请号： | 200710162669.0 | 申请日： | 2007-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN101165477A | 公开（公告）日： | 2008-04-23 |
| 发明（设计）人： | 芹川滋;石黑隆之 | 申请（专利权）人： | 日立高新技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳;刘宗杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种检测玻璃盘的圆周表面缺陷的光学系统及装置。在本发明中，由于光束从玻璃盘的背面通过玻璃盘被照射到在玻璃盘正面一侧处的外周斜面部分上，所以在接收到的光中由于杂质和裂纹而导致的消光量之间的差增大，并且可以响应于该差而获得接收到的表示缺陷检测信号的光信号。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 玻璃 圆周 表面 缺陷 光学系统 装置 | ||
【主权项】：
1.一种检测盘的圆周表面缺陷的光学系统，用于检测在盘的外周表面处的缺陷，包括：光照射系统，其将光束从旋转的玻璃盘的背面通过玻璃盘的内部照射到在玻璃盘的正面一侧处的外周斜面部分上，光接收器，其被设置成远离外周斜面部分一个预定距离，以及光阑，其被设置在光接收器的前面，其中光接收器接收通过光阑在外周斜面部分处透射并折射的光束，并且基于光接收器接收到的光信号来检测在玻璃盘的外周表面处的缺陷。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日立高新技术有限公司，未经日立高新技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710162669.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种锡液抗氧化添加剂
- 下一篇：本安防爆手电筒
