[发明专利]研磨垫与其应用及其制造方法无效
| 申请号： | 200710163719.7 | 申请日： | 2007-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN101306518A | 公开（公告）日： | 2008-11-19 |
| 发明（设计）人： | 冯崇智;姚伊蓬;赵征祥;洪永璋 | 申请（专利权）人： | 三芳化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D13/00 | 分类号： | B24D13/00;B24D11/02;B24B29/00;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 邢好路 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明主要涉及一种研磨垫，所述研磨垫包含缓冲片、研磨片和用于将所述缓冲片粘合到所述研磨片的粘合剂。所述缓冲片包含纤维。所述研磨片包含第一弹性体。所述粘合剂包含第二弹性体。本发明还提供一种研磨衬底的方法，其包含使用所述研磨垫的和一种用于制造上述研磨垫的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 与其 应用 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种研磨垫，其包含：缓冲片，包含纤维；研磨片，包含第一弹性体，所述研磨片包含研磨表面，所述研磨表面用于研磨衬底；以及粘合剂，用于将所述缓冲片粘合到所述研磨片，所述粘合剂包含第二弹性体。
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