[发明专利]一种光电位移传感器及位移测量方法无效
| 申请号： | 200710164067.9 | 申请日： | 2007-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN101135553A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 吴茹菲;洪何清 | 申请（专利权）人： | 吴茹菲 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01D5/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及微电子、光电子、工业控制和仪器科学技术领域，公开了一种光电位移传感器，该位移传感器由激光器、光纤和位移刻度板组成。利用本发明，实现了高精度、长寿命和低成本的位移传感器。由于该光电位移传感器采用微电子大规模集成精细制造技术，能够在现有位移传感器的基础上极大地降低成本和提高精度。同时，相比于接触式位移传感器，该光电位移传感器采用光电技术实现非接触传感，可以显著地延长使用寿命，减少了工程使用中的更换频率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光电 位移 传感器 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种光电位移传感器，其特征在于，该位移传感器由激光器、光纤和位移刻度板组成。
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