[发明专利]步进扫描投影光刻机同步控制器

摘要

一种同步总线控制器，使用内部自定义同步总线和外部同步信号，以同步总线的最小时间单元数据传输周期作为同步时间基准，通过数据传输周期FIFO队列和“时间－命令”FIFO队列产生精准的时间控制点，实现步进扫描投影光刻机各个子模块之间的严格同步过程。本发明还提供了用于实现同步总线控制器功能的步进扫描投影光刻机同步控制系统，包括上位机、工控机CPU板、运动控制卡、激光计数卡、对准控制系统和照明控制系统，同步总线控制器通过同步总线实时向运动控制卡发布同步信息，并同时向对准控制系统和照明控制系统发送同步触发信号，以保证连续曝光扫描控制中工件台、掩模台、曝光剂量以及狭缝运动完全同步。

主权项

1.一种步进扫描投影光刻机同步控制器，其特征在于：该同步控制器为步进扫描投影光刻机同步控制系统提供统一的时间基准，该步进扫描投影光刻机同步控制系统包括上位机、工控机CPU板、同步总线控制器、运动控制卡、激光计数卡以及对准控制系统、照明控制系统；曝光控制软件模块位于所述的上位机；扫描控制软件模块位于所述的工控机CPU板；所述的工控机CPU板采用实时操作系统；所述的上位机与所述的工控机CPU板通过工业以太网互连；所述的工控机CPU板和所述的同步总线控制器、运动控制卡、激光计数卡之间采用VME总线连接在一起；所述的同步总线控制器、运动控制卡、激光计数卡之间采用同步总线进行数据交换；