[发明专利]用流动梯度设计沉积均匀硅膜的方法和装置

摘要

本发明提供一种由气体分布板产生流动梯度的方法和装置。在一个实施例中，该方法和装置特别用于，但不限于，沉积太阳能电池用硅膜。沉积太阳能电池用均匀硅膜的装置包括处理室，和设置在处理室中并具有至少四个由四个边分隔的角的四边形的气体分布板。该气体分布板还包括穿过气体分布板形成的第一多个节流口，该第一多个节流口位于角中，和穿过气体分布板形成的第二多个气体节流口，该第二多个节流口沿角区域之间的边设置，其中第一多个节流口具有比第二多个节流口更大的流动阻力。

主权项

1、一种用于沉积适于太阳能电池用膜的装置，包括处理室；以及沉积在处理室中并具有至少四个有四个边分隔的角的四边形气体分布板，该气体分布板还包括：穿过气体分布板形成的第一多个节流口，所述第一多个节流口设置于角中；以及穿过气体分布板形成的第二多个节流口，所述第二多个节流口沿角区域之间的气体分布板的侧面设置，其中所述第一多个节流口具有比所述第二多个节流口更大的流动阻力。