[发明专利]等离子体反应器基板安装表面毛化

摘要

本发明一般提供用于在等离子体反应器中为大面积基板提供必要电容去耦的装置和方法。本发明的一个实施例提供用于在等离子体反应器中使用的基板支架，该基板支架包括电导体，该电导体包括具有用于接触大面积基板的背面的多个突起区域的顶面，该多个突起区域占据小于大约50％的顶面表面积。

主权项

1.一种用于在等离子体反应器中使用的基板支架，包括：构造作为等离子体反应器的电极的电导体，其中所述电导体具有构造为用于支撑大面积基板并为该大面积基板提供热能的顶面，所述顶面具有用于接触该大面积基板的背面的多个突起区域，并且所述多个突起区域占据小于大约50％的顶面表面积。